Криогенное и вакуумное машиностроение. ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ, 1990.
Центральный институт научно-технической информации и технико-экономических исследований по химическому и нефтяному машиностроению.
Обзорная информация.
В обзоре рассматриваются новые концепции вакуумирования приборов и установок, основанные на взаимодействии быстрых атомов, ионных и электронных пучков, плазменных...