Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций, доц. А. Я. Сергеев, Санкт-Петербург, 2016, 80 с. Цель работы - разработка установки рефлектометрии для контроля зоны роста гетероструктур типа А3В5, выращиваемых методом металлорганической газофазной эпитаксии (МОГФЭ) и разработано техническое задание на её...
Комментарии