Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 - технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники. — Московский институт стали и сплавов. — Москва, 2009. — 72 с. Научный консультант: профессор, доктор технических наук Кожитов Л.В. Основной целью работы является разработка теоретических...
Кандидатская диссертация. Москва, МГИЭиМ, 2008г. с.138
Предлагаемая новая комплексная высокочувствительная методика определения потоков поглощения газов промышленными образцами пористых геттеров может найти применение в технологии производства традиционных и новых геттерных материалов.
Целью данной работы является изучение тонких механизмов реакции взаимодействия водорода,...
Комментарии