Выходные данные неизвестны. Комплекс презентаций. Составитель: доцент кафедры микро- и наноэлектроники БГУИР Родионов Ю.А. Кремний. Первичная и вторичная обработка пластин. Контроль качества обработки. Эпитаксия. CVD. Термодиффузия. Ионное легирование. Вакуумное напыление (PVD). Фотолитография. Ионно-лучевое травление.
Комментарии