Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Вдовичев С.Н. Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур

  • Файл формата pdf
  • размером 1,07 МБ
  • Добавлен пользователем
  • Описание отредактировано
Вдовичев С.Н. Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур
Электронное учебно-методическое пособие. – Нижний Новгород, ННГУ, 2012. – 60 с.
В учебно-методическом пособии рассматриваются современные базовые методы нанотехнологий металлической наноэлектроники - напыление в вакууме и вакуумная плазмохимическая обработка тонкопленочных структур. Излагаются основы вакуумной техники, необходимые для работы на современных напылительных установках. Приведены схемы компоновки вакуумных систем и изложены принципы построения вакуумных систем. Изложены современные методы нанесения тонких пленок и основы теории механизма роста пленок напыляемого материала на подложке.
Электронное учебно-методическое пособие предназначено для студентов ННГУ, обучающихся по направлению подготовки 011800.62 Радиофизика, профиль Электроника, микро- и наноэлектроника и профиль Квантовая радиофизика и квантовая электроника, проходящих курс Учебно-научного эксперимента, и по направлению подготовки 011800.68 Радиофизика, магистерская программа Физическая электроника, изучающих курсы Физика сверхпроводников и Физика магнетизма.
Содержание
Введение
Осаждение тонких пленок материалов на поверхность подложки
Основы вакуумной техники
Основные методы напыления в тонкопленочной технологии
Плазменные методы обработки
Приложение
Литература
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация

Смотри также

Подробнее

Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок

  • djvu
М.: Техносфера, 2007. — 176 с.: цв. ил. — ISBN 978-5-94836-134-5. В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей...
  • 1,44 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Калин Б.А. (ред.) Физическое материаловедение. Том 3. Методы исследования структурно-фазового состояния материалов

  • pdf
Учебник для вузов. В 6 т. Том 3. — М.: МИФИ, 2008. — 808 с. Авторы: Н.В. Волков, В.И. Скрытный, В.П. Филиппов, В.Н. Яльцев. Распознано. Учебник «Физическое материаловедение» представляет собой 6-томное издание учебного материала по всем учебным дисциплинам базовой материаловедческой подготовки, проводимой на 5–8 семестрах обучения студентов по кафедре Физических проблем...
  • 30,46 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Подробнее

Калин Б.А. (ред.) Физическое материаловедение. Том 4. Физические основы прочности. Радиационная физика твердого тела. Компьютерное моделирование

  • pdf
Учебник для вузов: В 6 т. Том 4. — М.: МИФИ, 2008. — 696 с. Авторы: Е.Г. Григорьев, Ю.А. Перлович, Г.И. Соловьев, А.Л. Удовский, В.Л. Якушин. Распознано. Учебник «Физическое материаловедение» представляет собой 6-томное издание учебного материала по всем учебным дисциплинам базовой материаловедческой подготовки, проводимой на 5–8 семестрах обучения студентов по кафедре...
  • 10,93 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Подробнее

Кудинов В.В., Бобров Г.В. Нанесение покрытий напылением. Теория, технология и оборудование

  • pdf
Учебник для вузов. Под ред. докт.техн. наук проф.Митина Б.С. - М.: Металлургия, 1992. — 432 с. Последовательно изложены общие закономерности физико-химических явлений, лежащие в основе современных процессов нанесения покрытий напылением. Рассматриваются газотермические методы нанесения покрытий (плазменный, газопламенный, детонационно-газовый и дуговая металлизация) и вакуумное...
  • 22,19 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Подробнее

Майссел Л., Глэнг Р. Технология тонких пленок. Справочник

  • djvu
Том 1, Том 2. / Перевод с англ. под ред Елинсона. - М.: "Сов. Радио", 1977. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии...
  • 29,89 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Наверх