Антоненко С.В. Технология тонких пленок

Учебное пособие. -М.: МИФИ, 2008. 104 с. Распознано.
Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности «Физика конденсированного вещества» на кафедре «Физика твердого тела и наносистем». Пособие также может быть рекомендовано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения квалификации и переподготовки специалистов промышленности в области получения и исследования тонких пленок и наносистем.
Оглавление (4 главы):
Предисловие
Общие закономерности роста пленок
Свойства пленок и их изучение
Методы получения и обработки тонких пленок
Сверхпроводящие пленки и устройства из них
Список литературы