Троян П.Е., Сахаров Ю.В. Наноэлектроника

Учебное пособие. — Томск: В-Спектр, 2011. — 263 с. В учебное пособие включено описание новых технологических процессов, которые составляют основу современного производства сверхбольших интегральных схем (СБИС) и других устройств кремниевой наноэлектроники. К таким процессам относятся субмикронная литография, ионное легирование, быстрый термический отжиг, ионное и...

Учебное пособие. - Санкт-Петербург, СПбГУ ИТМО, 2011. – 83с. В учебном пособии рассмотрены физические основные наноэлектроники. Технологии создания твердотельных наноструктур, применение квантово-размерных структур в приборах наноэлектроники. Учебное пособие соответствует утвержденным учебным программам по направлениям 211000 – «Конструирование и производство...

Учебное пособие для студентов факультета нано- и биомедицинских технологий. — Саратов, 2013. — 128 с. : ил. — Электронное издание. — ISBN: 5-292-01986-0 Учебное пособие посвящено изложению физических основ наноэлектроники. Описаны явления переноса носителей заряда в гетероструктурах с селективным легированием. Рассмотрены квантовые эффекты в структурах с пониженной...

Ярославль: Яросл. гос. ун-т., 2002. - 132 с. Учебное пособие является введением в физику и технологию микроэлектроники с субмикронными размерами. Наиболее подробно рассмотрены вопросы, связанные с физическими ограничениями, возникающими при увеличении степени интеграции. Рассмотрены также вопросы физики систем пониженной размерности и приборов наноэлектроники. Коротко затронуты...

Красноярск: ИПК СФУ, 2009. - 220 с. В данном издании представлены материалы, отражающие современное состояние микро- и наноэлектроники, а также перспективы развития этих отраслей. Предназначен для студентов направления подготовки магистров 210100.68 "Электроника и микроэлектроника" укрупненной группы 210000 "Электроника, радиотехника и связь", а также может быть использован...

Монография. - М.: Физматкнига, 2007. - 465 с. Монография содержит подробный материал по пяти дисциплинам направления подготовки «Нанотехнология в электронике»: физико-химия наноструктурных материалов, материалы и методы нанотехнологии, методы диагностики и анализа микро- и наносистем, элементы и приборы наноэлектроники, квантовая и оптическая электроника.