Белов И.А., Шеленшкевич В.А., Шуб Л.И. Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем

Монография. — Ленинград: Политехника, 1991. — 287 с. — ISBN 5-7325-0001-4.В монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе применен аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массообмена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчета как ламинарного, так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потоков в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположения пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье—Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объема.
Монография предназначена для научных работников, занимающихся исследованием и разработкой процессов изготовления изделий микроэлектронной техники. Может быть использована инженерно-техническими работниками, специализирующимися в области технологии приборостроения.Проблемы гидродинамики в технологическом процессе изготовления полупроводниковых приборов и микросхем.
Математическое описание гидродинамики и теплообмена при ламинарном и турбулентном режимах течения несжимаемой жидкости.
Математическое описание процессов гидродинамики и теплообмена в двухфазных средах.
Конечно-разностная аппроксимация и решение исходных дифференциальных уравнений.
Расчет гидродинамических процессов формирования рабочей среды.
Расчет гидродинамических и массообмеииых процессов в реакторе с пластинами для нанесения покрытия.
Список литературы.