Бобринецкий И.И. Формирование и исследование электрофизических свойств планарных структур на основе углеродных нанотрубок

Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. - Москва, МИЭТ, 2004. - 149 с.Специальность 05.27.01 - твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектахОглавление
ВведениеСостояние вопроса по созданию планарных квантовых проводников на основе углеродных нанотрубок и квазиодномерных структур
Основные направления в нанотехнологии планарных одномерных проводников
Развитие методов создания квантово-размерных наноконтактов на основе локального окисления, индуцированного током
Основные параметры, характеризующие свойства нанотрубок
Структура графита
Угол хиральности и диаметр нанотрубок
Электронная структура нанотрубок
Методы получения углеродных наноструктур
Термическое разложение графита в дуговом разряде
Химическое осаждение из газовой фазы
Метод лазерного испарения
Холодная деструкция графита
Исследование нанотрубок с использованием микроскопии высокого разрешения
Электрические свойства нанотрубок
Выводы по гл. 1Разработка методик создания образцов наноструктур на основе нанотрубок и их контроля в атомно-силовом микроскопе
Сравнение методов высаживания нанотрубок, полученных в различных технологических процессах
Разработка режима наблюдения различного типа нанотрубок на подложках
Выбор параметров работы микроскопа и типа кантилеверов
Деформация нанотрубок на подложках
Влияние взаимодействия иглы АСМ с нанотрубкой на размеры наблюдаемых нанообъектов
Манипулирование и модификация нанотрубок с использованием атомно-силового микроскопа
Развитие бесконтактной емкостной микроскопии для исследования проводящих нанообъектов на диэлектрических подложках
Моделирование микроскопии индуцированного электрического поля в приближении точечного потенциала
Апробация методики на тестовых проводящих и диэлектрических объектах
Применение микроскопии индуцированного электрического поля для неразрушающего контроля нанотрубок в электрических схемах
Нанотрубки с разветвленной структурой
Выводы по главе 2Разработка тестового кристалла и исследование проводимости углеродных нанотрубок
Технологический маршрут формирования кристалла
Схемы измерения электрических свойств нанотрубок.
Электрические характеристики структур на основе нанотрубок
Измерение проводимости при комнатной температуре в малых и средних полях
Исследование полевого эффекта
Анализ механизмов проводимости структур на основе нанотрубок
Квантовый транспорт в двумерной графитовой системе
Формирование контакта между металлом и нанотрубкой
Изгиб нанотрубок на контактах
Одномодовый транспорт в полевом транзисторе с барьером Шоттки на основе углеродных нанотрубок
Выводы по главе 3Формирование функциональных элементов наноэлектроники на основе сеток пучков однослойных углеродных нанотрубок и исследование их основных параметров
Модуляция проводимости структур на основе пучков однослойных углеродных нанотрубок
Особенности проводимости пучков однослойных углеродных нанотрубок
Формирование полупроводникового канала проводимости в пучках
Параметры макета транзистора на основе пучка нанотрубок с преобладающим полупроводниковым каналом проводимости
Логические ключи на основе сеток пучков однослойных углеродных нанотрубок
Реализация инвертора с линейной нагрузкой на основе внешнего резистора
Реализация инвертора с нелинейной нагрузкой на основе двух интегрированных ОСНТ транзисторов р-типа
Разработка методов улучшения и стабилизации контакта нанотрубка / металл
Токовая активация миграции атомов в интерфейсной фазе золото / нанотрубка
Формирование углеродных контактов в качестве токоподводящих электродов
Выбор диэлектрического покрытия структур на основе пучков углеродных нанотрубок
Выводы по главе 4
Заключение
Благодарность
Список использованных сокращений
Список литературы
Приложение