Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н. Кремний - материал наноэлектроники

Москва: Техносфера, 2007 — 352 стр. — (Мир материалов и технологий) — ISBN 978-5-94836-101-7Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях.
Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.Содержание
Физические принципы наноэлектроники
Кремниевая одноэлектроника
Оптические и фотоэлектрические свойства квантово-размерных структур Si—Ge
Методы получения самоорганизованных Si—Ge-наноструктур
Синтез проводящих и полупроводниковых соединений в кремнии