Рыжков В.В. Микрофлюидный сенсор потока с применением технологии кремний-на-стекле

Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук:
2.2.9. Проектирование и технология приборостроения и радиоэлектронной аппаратуры. – Московский государственный технический университет им. Н.Э.Баумана (национальный исследовательский университет МГТУ им. Н.Э. Баумана). Москва, 2025 – 104 с.
Научный руководитель: к.т.н., доцент Родионов И.А.Цель исследования. Создание конструкции и технологии изготовления микрофлюидного теплового сенсора потока, интегрированного в биосовместимый микрофлюидный чип, для устройств кремниевой микрофлюидики.Введение.
Анализ современного уровня технологий изготовления микросенсоров потока жидкости.
Нетепловые сенсоры потока.
Тепловые сенсоры потока.
Проектирование конструкции микрофлюидного теплового сенсора потока на основе вычислительной модели.
Ключевые характеристики микрофлюидного сенсора потока.
Численное моделирование и оптимизация конструкции микрофлюидного теплового сенсора потока.
Конструкция чипа микрофлюидного сенсора потока.
Технология «кремний-на-стекле» для изготовления кремниевых микрофлюидных чипов с сенсорами потока.
Маршрутный технологический процесс изготовления микрофлюидного сенсора потока.
Очистка подложек.
Лазерная литография топологии каналов.
Плазмохимическое травление.
Анодный бондинг.
Взрывная литография термосенсоров.
Стабилизация чувствительных элементов.
Сборка и корпусировка.
Экспериментальное исследование характеристик микрофлюидного теплового сенсора потока.
Экспериментальный стенд.
Методика калибровки микрофлюидного сенсора потока.
Автоматизация эксперимента и обработка данных.
Характеристики микрофлюидного теплового сенсора потока.
Выводы и заключение.
Список сокращений и условных обозначений.
Список литературы.