Мельник В.М., Уль А.В., Мельник Ю.А. Теорія і методи РЕМ-фотограмметрії

Луцьк, 2018. — 100 с.В монографії розглядаються в систематизованому вигляді усі найбільш важливі теоретичні і практичні аспекти фотограмметричних методів в растровій електронній мікроскопії, а саме в РЕМ- фотограмметрії. Зокрема, авторами здійснено аналіз методів та апаратури 3D- реконструкції структури та топографії поверхонь на макро- та макрорівнях, наведені математичні моделі аналітичної РЕМ-фотограмметрії та калібрувальні фотограмметричні методи в РЕМ. Розглянуті питання побудови ,аналізу та тривимірного відтворення цифрових моделей мікрорельєфу (ЦММР). Наведено практичні аспекти фотограмметричних методів в електронно-мікроскопічних дослідженнях.Вступ.
Аналіз методів та апаратури 3D-реконструкції структури та топографії поверхонь на макро- та мікрорівнях.
Аналіз розвитку і стану технічних засобів для інтерпретації зображень на макро- та мікрорівнях.
Контактні методи вимірювання.
Безконтактні методи вимірювання.
Інтерферометричні методи.
Метод растрової електронної мікроскопії (РЕМ).
Розвиток методів і сучасний стан стереообробки РЕМ-зображень.
Математичні моделі аналітичної РЕМ-фотограмметрії.
Загальні принципи 3D-відтворення в електронній мікроскопії.
Математичні моделі перспективно-афінного відображення в електронній мікроскопії.
Перспективно-афінна РЕМ-стереозйомка методом нахилів.
РЕМ-фотограмметрична стереозйомка методом поворотів.
Математична модель центрально-перспективного відображення.
Взаємне орієнтування і визначення вихідних параметрів РЕМ-стереомоделі.
Просторове (зовнішнє) орієнтування РЕМ-стереозображення.
Калібрування фотограмметричні методи в РЕМ.
Загальні положення.
Визначення метричних властивостей растрових електронних мікроскопів.
Основні результати експериментальних досліджень.
Фізичні принципи калібрування електронної дисторсії РЕМ.
Визначення дисторсії РЕМ зображень із застосуванням перетворення Фур'є.
Метод поліколінеарного моделювання.
Калібрування збільшень при стереозніманні в РЕМ.
Нанотехнологія та сучасні високопрецизійні фотограмметричні калібрувальні процедури РЕМ.
Тривимірне відтворення цифрових моделей мікрорельєфу (ЦММР).
Побудова ЦММР як некоректна задача.
Побудова ЦММР із застосуванням поліномів Чебишева.
Дискретне перетворення Фур'є/Хартлі.
Дискретне перетворення Фур'є.
Дискретне перетворення Хартлі.
Апроксимація ЦММР сферичними функціями. Метод регуляризації.
Побудова ЦММР в режимі наведеного струму.
Елементи цифрової РЕМ-фотограмметрії.
Загальні поняття.
Застосування операторів масок.
Застосування метода Вейвлет-перетворення для попередньої обробки РЕМ-зображень.
Цифрові методи стереоототожнення і стереореконструкції в РЕМ.
Методологічні принципи суміщення (resampling) колінеарно-споріднених РЕМ-зображень.
Практика фотограмметричних методів в електронно-мікроскопічних дослідженнях.
Загальні положення.
Стереологія реальних порошкових матеріалів.
Розпізнавання пор (часток) із застосуванням діаграм Вороного.
Морфолого-спектральний аналіз цифрової моделі мікрорельєфу (ЦММР).
Стереометричний аналіз ЦММР зломів фасеточного типу.
Комп'ютерна ідентифікація мікротріщин.
Автоматизований метод ідентифікації мікротріщин із використанням алгоритму Вітербі.
Фрактальний аналіз РЕМ-зображень неоднорідних та пористих структур.
Коректність фрактальності цифрових РЕМ-зображень.
Висновки.
Література.