Машкина Е.С., Бормонтов Е.Н. Литографические процессы в технологии твердотельной электроники

Учебно-методическое пособие. — Воронеж: Воронежский государственный университет, 2013. — 37 с.Введение.
Основы фотолитографического процесса.
Основные этапы литографического процесса.
Формирование слоя фоторезиста.
Формирование защитного рельефа фоторезиста.
Формирование топологического рельефа на подложке.
Перспективные способы литографии.
Рентгенолитография.
Электронная литография.
Литография с ультрафиолетовым излучением.
Задания.
Вопросы.
Литература.