Учебное пособие. — М.: Энергия, 1980. — 360 с.
Приведены сведения по основам теории контроля и испытания микроэлементов, микросхем и материалов. Описаны современная технология контроля параметров и испытания, а также испытательное оборудование и контрольно-измерительная аппаратура. Рассмотрены вопросы прогнозирования надежности.
Предназначена в в качестве учебного пособия для студентов вузов по приборостроительным специальностям 0604, 0629, 0618, 0705.
Предисловие.
Элементы теории и системы организации испытаний микроэлементов и интегральных схем.
Электрические параметры МЭ и ИМ и методы их измерения.
Методы неразрушающего контроля параметров МЭ и ИМ в процессе их изготовления и испытаний.
Климатические испытания МЭ и ИМ.
Механические испытания МЭ и ИМ.
Радиационные испытания МЭ и ИМ.
Методы испытаний МЭ и ИМ на надежность и сохраняемость.
Методы прогнозирования надежности МЭ и ИМ.
Обработка экспериментальных данных.
Приложение.
Список литературы.
Предметный указатель.