Эгамбердиев Б.Э., Насриддинов С.С. Наноструктурные полупроводниковые терморезисторные датчики

Монография. — Ташкент: ТашГТУ, 2012. — 200 с.В монографии даны результаты анализа и исследования наноструктурных полупроводниковых материалов и разработки на их основе новых терморезисторных датчиков для контроля температуры в различных объектах и устройствах.
В данной работе разработан маршрут изготовления структуры технологической линии по мелкосерийному производству терморезисторных датчиков.
Особое внимание уделено исследованию основных характеристик измерительных преобразователей температуры на основе наноструктурных полупровдниковых терморезисторных датчиков таких как статические, динамические, надежность и даны классификация источников погрешностей с разработкой методов их компенсации.
В данной работе разработаны методики структурного и параметрического проектирования и приведены примеры практического применения измерительных преобразователей на основе наноструктурных терморезистовных датчиков.
Книга предназначена для научных работников и специалистов, занимающихся в области измерительной техники, а также для бакалавров и магистров соответствующих специальностей.