Никифоров И.К. Электронная аппаратура. Основные материалы и технологии микро- и наноэлектроники

Учебное пособие. — Москва, Вологда: Инфра-Инженерия, 2023. — 416 c.Рассматриваются материалы и технологии, наиболее широко применяемые в микро- и наноэлектронике, изготовлении микросхем, микромодулей и блоков электронной аппаратуры.
Для студентов электротехнических и радиотехнических специальностей и специалистов, занимающихся разработкой радиоэлектронной и силовой электронной аппаратуры.