Данилин Б.С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем

Под общей ред. Р.А. Нилендера. — М.: Энергия, 1972. — 256 с.В книге рассмотрены области применения тонких плёнок в производстве интегральных схем, взаимодействие остаточной среды с плёнками в процессе их формирования, аппаратура для контроля скорости осаждения и толщины тонких плёнок, типы и конструкции установок для осаждения тонких плёнок, пути улучшения параметров установок и повышения их производительности.
Книга рассчитана на широкий круг лиц, занимающихся конструированием, монтажом и эксплуатацией вакуумных установок для получения тонких плёнок, а также для специалистов, работающих в области тонкоплёночной технологии.Тонкие плёнки в производстве интегральных схем.
Остаточная атмосфера и её взаимодействие с плёнками в процессе их формирования.
Установки и линии для осаждения тонких плёнок.
Откачные системы и пути их усовершенствования.
Управление процессом термического осаждения тонких плёнок.
Технико-экономические аспекты проектирования, изготовления и эксплуатации вакуумного оборудования для изготовления тонкоплёночных элементов интегральных схем.