Бадаев А.С. Материалы и структуры микро- и наноэлектроники. Часть 1. Проводниковые материалы

Учебное пособие. — Воронеж: ВГТУ, 2015. — 155 с.В учебном пособии изложены основные сведения о свойствах, параметрах, методах получения, областях применения традиционных проводниковых, полупроводниковых, диэлектрических, магнитных радиоматериалов и перспективных материалов, применяемых в микро- и наноэлектронных технологиях. Первая часть посвящена изучению проводниковых материалов и структур.
Издание соответствует требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего профессионального образования для специальности 210601 «Радиоэлектронные системы и комплексы» по дисциплине «Радиоматериалы и радиокомпоненты».
Учебное пособие предназначено для студентов очной формы обучения, изучающих дисциплины связанные с проблемами современного материаловедения и технологий микро- и наноэлектроники.