Иванов-Есипович Н.К. Инженерные основы плёночной микроэлектроники

Л.: Энергия, 1968. — 176 с.В книге рассмотрены прикладные вопросы технологии изготовления и проектирования плёночных микросхем, являющихся дальнейшим современным развитием техники печатных схем. Рассмотрены условия получения плёночных резистивных, ёмкостных, триодных и диодных компонентов, составляющих общий рисунок микросхемы. Значительное внимание уделено технологии изготовления плёночных полевых триодов с изолированным затвором, обезпечению точности получения и совмещения узоров различных слоёв, выполнению контактов плёнок с внешними выводами, а также анализу условий вакуумной технологии получения плёночных микросхем, не содержащих навесных деталей.
Книга предназначена для инженеров, начинающих работать в области плёночной микроэлектроники, и может быть полезна студентам конструкторско-технологической специальности радиотехнических факультетов вузов.Плёночные пассивные компоненты.
Плёночные активные компоненты.
Реализационные основы плёночной микроэлектроники.
Контакты и оболочки плёночных микросхем.