Величко А.А., Гришина И.В., Игнатов А.Н., Фадеева Н.Е., Филимонова Н.И. Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники

Вологда: Инфра-Инженерия, 2023. — 352 с.Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование.
Для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 «Радиоэлектроника», 11.03.02 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», а также учащихся колледжей электронного и радиотехнического профилей.