Васильев Е.В., Раевский Г.П., Попова Т.А., Черноверская В.В. Физические основы микро - и наноэлектроники

Методические указания по выполнению лабораторных работ. — Москва: МИРЭА - Российский технологический университет, 2020. — 71 с.Методические указания содержат краткие теоретические сведения, методику проведения лабораторных работ и примеры расчетных заданий в рамках программы дисциплины «Физические основы микро - и наноэлектроники».
Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлению 11.03.03 «Конструирование и технология РЭС».