Рембеза С.И. Низкоразмерные структуры для микро- и наноэлектроники

Учебное пособие. — Воронеж: ВГТУ, 2015. — 115 с.В учебном пособии рассмотрены основные физические свойства систем с пониженной размерностью: полупроводниковых структур с двумерным электронным газом, квантовых нитей и квантовых точек. Описаны основные технологические методы получения квантово размерных структур и даны примеры практического использования таких структур в наноэлектронике.
Издание соответствует требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования по направлениям 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» (программа магистерской подготовки «Приборы и устройства в микро- и наноэлектронике»), 16.04.01 «Техническая физика» (программа магистерской подготовки «Физика и техника полупроводников»), дисциплинам «Физика низкоразмерных структур в микро- и наноэлектронике», «Диагностика наноматериалов и наноструктур».