Андрюшкин В.В., Карачинский Л.Я., Колодезный Е.С. и др. Планарные технологии в оптоэлектронике

Учебно-методическое пособие. — СПб: Университет информационных технологий, механики и оптики (ИТМО), 2023. — 61 с.Учебно-методическое пособие предназначено для использования в рамках реализуемых дисциплин образовательных программ по направлениям подготовки 12.04.05 «Лазерная техника и лазерные технологии» и 16.04.01 «Техническая физика». В пособии приведены достаточные теоретические сведения и подробные описания лабораторных работ в области создания полупроводниковых кристаллов оптоэлектронных устройств. В пособии рассматриваются вопросы изготовления и конструирования эпитаксиальных пластин, дискретных полупроводниковых кристаллов и оптических модулей. В процессе выполнения лабораторных работ учащиеся знакомятся с технологическими этапами создания кристаллов, с процессом создания фотолитографических шаблонов с использованием программного обеспечения Klayout.