Индришенок В.И., Певцов Е.Ф. Основы приборно-технологического моделирования в Sentaurus TCAD

Учебное пособие. — Москва: Московский технологический университет (МИРЭА), 2018. — 140 с.Введение.
Общая характеристика системы моделирования Sentaurus TCAD.
Моделирование технологии изготовления полупроводникового прибора.
Моделирование электрических характеристик в Sentaurus Device.
Задания для самостоятельной работы.
Заключение.