Технология и оборудование для производства полупроводниковых и диэлектрических материалов, приборов электронной техники. Курс лекций

Автор не указан. — Учебное пособие. — Ставрополь: СКФУ 2017. — 364 с.Развитие научно-технического прогресса поставило задачу резкого усложнения техники и технологии на базе применения ЭВМ. Большинство явлений, реализуемых в производстве невозможно без знаний технологии материалов и изделий электронной техники.
В книге рассмотрены следующие вопросы:
физико-химические основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники;
кинетические, диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах;
физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электроннолучевой и лазерной технологии;
основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, плазменной, твердотельной и микроэлектроники;
автоматизация процессов производства электронных приборов и устройств;
эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования.