Свистова Т.В. Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники

Воронеж: Воронежский государственный технический университет, 2017. — 127 c.В учебном пособии представлены четыре лабораторные работы, краткие теоретические сведения, необходимые для подготовки и выполнения работ, даны описание технологического и измерительного оборудования, задания и порядок их выполнения, контрольные вопросы. Приведены необходимые справочные материалы.