Зарегистрироваться
Восстановить пароль
FAQ по входу

Wolf S., Tauber R.N. Silicon Processing for the VLSI Era. Vol. 1. Process Technology

  • Файл формата pdf
  • размером 37,70 МБ
  • Добавлен пользователем , дата добавления неизвестна
  • Описание отредактировано
Wolf S., Tauber R.N. Silicon Processing for the VLSI Era. Vol. 1. Process Technology
Sunset Beach, CA: Lattice Press, 1986. - 684 pp. (на англ яз. ).
Книга представляет собой первый том широко известной серии из 4-х книг, охватывающей практически все вопросы технологии СБИС. Несмотря на то, что книга написана в 1986 г., во многом она не потеряла своей ценности и в настоящее время. В книге удачно воплощено стремление осветить все аспекты технологии СБИС с единой точки зрения, при этом весь материал книги отличается высоким уровнем изложения при сохранении ясного и понятного стиля.
Часть глав книги посвящена основным технологическим процессам: окислению, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, фотолитографии, напылению, жидкостному химическому травлению, отмывке, плазмохимическому травлению.
В других главах рассматриваются общие аспекты технологии СБИС: вакуумная технология, свойства тонких пленок, технология полупроводникового кремния, методы исследования материалов, методика планирования эксперимента для оптимизации процессов.
Книга будет весьма полезна профессионалам в области технологии СБИС, а также преподавателям, студентам старших курсов и аспирантам соответствующих специальностей.
  • Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
  • Регистрация

Смотри также

Подробнее

Ghodssi R., Lin P., MEMS Materials and Processes Handbook

  • pdf
Springer, 2011. 1185 p. ISBN: 0387473165 MEMS Materials and Processes Handbook is a comprehensive reference for researchers searching for new materials, properties of known materials, or specific processes available for MEMS fabrication. The content is separated into distinct sections on 'Materials' and 'Processes'. The extensive 'Material Selection Guide' and a 'Material...
  • 26,97 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Quirk M., Serda J. Semiconductor Manufacturing Technology

  • djvu
  • ppt
Prentice Hall, 2000. — 666 p. Технология производства полупроводников. Книга известных американских специалистов (Michael Quirk, Julian Serda) охватывает практически все важнейшие аспекты технологии субмикронных СБИС. Несмотря на то, что она написана в 2000 г., до сих пор книга не потеряла своей ценности и актуальности и не только для отечественного читателя, она по прежнему...
  • 65,86 МБ
  • добавлен
  • описание отредактировано
Подробнее

Wolf S. Silicon Processing for the VLSI Era. Vol. 3. The Submicron MOSFET

  • pdf
Sunset Beach, CA: Lattice Press, 1995. - 744 pp. (на англ яз. ) Книга представляет собой 3-й том известной серии из 4 книг, посвященной технологии СБИС. Настоящий том посвящен рассмотрению важнейшей для технологии современных СБИС области - МДП-транзисторам с субмикронной длиной канала. В книге рассматривается многосторонняя взаимосвязь физики, конструкции и технологии...
  • 36,58 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Wolf S. Silicon Processing for the VLSI Era. Vol. 4. Deep Submicron Process Technology

  • pdf
Sunset Beach, CA: Lattice Press, 2002. - 826 pp. (на англ яз. ) Книга представляет собой 4-й (и последний на сегодняшний день) том широко известной серии из 4 книг, посвященной технологии СБИС. Настоящий том посвящен рассмотрению технологических нововведений, появившихся на рубеже тысячелетий и характерных для поколений СБИС с минимальным размером элемента 0,18 мкм и менее. Все...
  • 79,90 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Wolf S. Silicon Processing for the VLSI Era. Vol.2. Process Integration

  • pdf
Sunset Beach, CA: Lattice Press, 1990. - 785 p. (на англ яз. ). Книга известного американского специалиста проф. Стэнли Волфа является вторым томом широко известной серии из 4-х книг, охватывающей практически все аспекты технологии СБИС. Несмотря на то, что этот том написан в 1990 г., во многом книга не потеряла своей ценности и в настоящее время, в частности, из-за полноты...
  • 44,19 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Подробнее

Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств

  • djvu
Справочник. — Москва: Радио и связь, 1991, 528 с. Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю,...
  • 9,34 МБ
  • дата добавления неизвестна
  • описание отредактировано
Наверх