Парфенов О.Д. Технология микросхем

М.: Высшая школа, 1977. — 256 с.В учебном пособии рассмотрены: технология полупроводниковых интегральных микросхем (диффузии, эпитаксия, пассивация, межсоединения, фотолитография); технология гибридных пленочных микросхем (физические основы и техника термического вакуумного напыления, активные и пассивные тонкопленочные элементы, методы контроля тонкопленочных элементов в процессе напыления, распыление ионной бомбардировкой, технологические особенности толстопленочных микросхем); сборка микросхем (монтажно-сборочные операции, крепление подложек и кристаллов, герметизация).Пособие предназначено для изучающих специальности «Электронные вычислительные машины» и «Конструирование и производство электронно-вычислительной аппаратуры».