Достанко А.П., Бордусов С.В., Свадковский И.В. и др. Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники. Том 2

Монография в 3 томах. — Минск: ФУАинформ, 2001. — 244 с.Второй том включает четыре главы, в которых рассматриваются плазмохимические методы осаждения и ионно-плазменного нанесения тонких пленок, плазменные методы удаления тонких пленок с поверхности твердых тел, применение СВЧ плазменных процессов и устройств в технологии микроэлектроники.