Орликов Л.Н. Специальные вопросы технологии приборов оптической электроники

Томск: ТУСУР, 2018. — 125 с.В пособии рассматриваются физические принципы формирования приборов оптической электроники и наноэлектроники; основные приемы построения последовательностей технологических операций при формировании и синтезе оптических материалов; современные технологии, применяемые при производстве приборов оптической электроники и наноэлектроники. Выделены основные пути использования вакуумной, ионно-плазменой, электронно-лучевой и лазерной технологии в изготовлении приборов оптической электроники; рассмотрены основы автоматизации процессов производства квантовых приборов и устройств; эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования. В пособии рассмотрены технологические средства, наиболее пригодные для создания приборов оптической электроники. Приведены сведения из области применения передовых технологий и сервиса современного оборудования. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника». Пособие будет полезно для студентов смежных специальностей при изучении дисциплин «Оптическое материаловедение», «Акустоэлектронные приборы», «Оптическая электроника» и др., а также при выполнении курсовых и выпускных квалификационных работ.