Лозовский В.Н. Нанотехнология в электронике. Введение в специальность

Учебное пособие. - 2-е изд. - СПб.: Лань, 2008. — 336 с. - Предназначено для студентов вузов, обучающихся по специальности «Нанотехнология в электронике».Данное пособие знакомит читателя с историческими этапами зарождения наноэлектроники, определяет роль микроэлектроники на современном этапе. Также приведены теоретические основы и особенности наноэлектроники, отражены особенности
инструментального и технологического обеспечения ее развития. Рассматриваются достижения нанотехнологии в электронике, перспективы и тенденции ее дальнейшего развития.Учебное пособие составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом (ГОСом) по специальности высшего профессионального образования «Нанотехнология в электронике». В нем рассматривается система современного высшего
технического образования, особенности обучения в вузе, фундаментальные основы инженерной деятельности.