Пиганов М.Н., Калаев М.П., Телегин А.М., Сухачев К.И. Технология микросборок

Учебное пособие. — Самара: Самарский национальный исследовательский университет им. академика С.П. Королева, 2020. — 188 с. — ISBN 978-5-7883-1552-2.Дан анализ современной технологии микросборок (МСБ). Приведены общие принципы и основные рекомендации, необходимые при разработке технологических процессов для производства тонкопленочных, толстопленочных и многослойных плат микросхем и микросборок, типовые технологические процессы; применяемые материалы и основное оборудование; вопросы технологического контроля параметров элементов микросборок и готовых изделий.
Учебное пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлениям 11.03.03 и 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», изучающих дисциплину «Технология микросборок». Может быть использовано не только при изучении теоретического материала по технологии микросборок, но и при выполнении курсовых проектов по дисциплине «Конструирование интегральных микросхем».