Милешко Л.П. Электроника анодных оксидных пленок кремния и его соединений, формируемых в легирующих электролитах

Монография. — 3 изд., перераб. и доп. — Ростов-на-Дону; Таганрог: Южный федеральный университет (ЮФУ), 2020. — 213 с.В монографии обобщены результаты теоретических и экспериментальных исследований физико-химических процессов, протекающих при анодировании Si, SiC, пленок Si₃N₄, термического и анодного SiO₂ в электролитах с легирующими добавками.
На основе термодинамического и кинетического анализа предложены возможные механизмы анодных реакций получения SiO₂, включающего легирующие элементы.
Изучены особенности кинетики электролитического оксидирования данных материалов, состав, строение и свойства легированных анодных пленок SiO₂.
Приведены примеры их применения для создания элементов полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
Книга предназначена для специалистов в области полупроводниковой электроники и микроэлектроники и может быть полезной магистрантам и аспирантам соответствующих специальностей.