Зебрев Г.И. Физические основы кремниевой наноэлектроники

4-е изд. — М.: Лаборатория знаний, 2020. – 243 c. — (Нанотехнологии). – ISBN 978-5-00101-830-8.Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии».Базисные физические уравнения
Особенности приборов КМОП-технологии
Структуры металл—окисел—полупроводник
Вольт-амперные характеристики МОПТ
Физические процессы в каналах МОПТ
Эффекты сильных электрических полей
Диффузионно-дрейфовая модель тока в мопт
Транзисторы технологии “кремний-на-изоляторе”
Моделирование транзисторов КНИ-технологий
Токи утечки в наноэлектронных структурах
Мезоскопические эффекты в наноэлектронных структурах