Гридчин А.В. Микродатчики и микросистемы

Краткий курс лекций. — Новосибирск: НГТУ, 2020. — 107 с.Пособие посвящено изучению конструкций и принципов работы основных типов микродатчиков и микросистем, разработанных и применяющихся в настоящее время. В пособии даны определения основным терминам, применяющимся в микросистемной технике, дана краткая история развития микросистем, приведен перечень метрологических параметров, характеризующих микросистему, как измерительный прибор. Отдельным вопросом рассмотрено компьютерное моделирование и проектирование микросистем на основе программного пакета Ansys.
Пособие предназначено для самостоятельного изучения студентами теоретического материала, необходимого для освоения курса «Микродатчики». Структура его включает в себя 8 глав, из которых первая глава посвящена общим вопросам, касающимся микросистем, вторая касается некоторых вопросов проектирования микросистем, а остальные дают краткое описание отдельных классов микросистем, указанных в главе 1.
В пособии минимизировано использование математических формул, а изложение физических основ работы микросистем дается максимально простым и понятным языком. Основной акцент в пособии поставлен на представление идеи работы рассматриваемого устройства. По этой причине пособие также рекомендует-ся в качестве настольной книги для чтения студентам специальности 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».