5-е изд. — М.: Лаборатория знаний, 2020. — 345 с. — (Нанотехнологии). — ISBN: 978-5-00101-730-1.
Рассмотрены основные направления развития современной электроники, использующей физические эффекты, имеющие место в наноструктурах. Проанализированы пути перехода от микро- к наноэлектронным приборам, приведены описания нанотехнологических процессов, элементов и приборов наноэлектроники и новых материалов, с которыми тесно связано развитие приоритетной области нанонауки и нанотехнологии. Для студентов по направлениям подготовки «Прикладные математика и физика», «Электроника и наноэлектроника», «Нанотехнологии и микросистемная техника», а также для аспирантов и научных работников, специализирующихся в области наноэлектроники и нанотехнологий.
ОглавлениеОт микро- к наноэлектронике
Методы нанотехнологии
Материалы наноэлектроники
Элементы и приборы наноэлектроники