Кривулин Н.О. Кремний на сапфире. Методы получения. Структура. Свойства

Учебно-методическое пособие. — Нижний Новгород: Нижегородский госуниверситет, 2017. — 42 с.Технология кремний на сапфире (КНС) является основой для производства радиационно-стойких приборов. В пособии описаны основные особенности данных структур, а также представлены основные технологии их производства.
Данное пособие предназначено для студентов старших курсов, специализирующихся по направлениям 11.03.04 Электроника и наноэлектроника и 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника.Введение.
Кремний на сапфире и объемный кремний.
Технологии производства слоёв кремния на сапфире.
Структура и свойства эпитаксиальных слоёв кремния на сапфире.
Список литературы.