Ворзобова Н.Д. Основы оптических 3D технологий формирования микро- и наноразмерных элементов фотоники и информационных систем

Учебно-методическое пособие. — СПб.: Университет ИТМО, 2020. — 65 с.В пособии приведены основы оптических 3D технологий получения микро и наноразмерных элементов фотоники и информационных систем - технологий голографии, литографии и 3D печати. Рассмотрены физические принципы и процессы, лежащие в основе технологий, примеры и характеристики элементов, направления применений. Основное внимание уделяется технологиям, базирующимся на полимерных материалах. Представлены технологии, используемые в настоящее время в производстве, а также перспективные разработки, ориентированные на получение элементов трехмерной конфигурации и структурированных элементов фотонных устройств.Введение.
Голографические методы и технологии получения периодических структур.
Формирование периодических структур в интерференционном поле.
Дифракционные свойства периодических структур.
Голографические методы и технологии в фотополимерных материалах и их применение.
Методы и технологии интерференционной литографии.
Контрольные вопросы.
Технологии оптической литографии.
Основы технологий фотолитографии.
Оптические нанотехнологии литографии.
Технологии получения элементов трехмерной конфигурации.
бокая литография.
Полутоновая литография.
Лазерная абляция полимеров.
Аддитивные технологии 3D печати.
Голографическая 3D печать.
Контрольные вопросы.
Метаматериалы.
Основные понятия, свойства и направления применений.
Трехмерные метаматериалы.
Контрольные вопросы.
Заключение.
Список литературы.