Кувшинов А.М. Основы микро- и наноэлектроники. Конструкция и технология микросхем

Учебное пособие. — Челябинск: Южно-Уральский государственный университет (ЮУрГУ), 2019. — 48 с.Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» при изучении дисциплин «Наноэлектроника», «Интегральная электроника и наноэлектроника». В учебном пособии изложены основы конструкций элементов полупроводниковых и гибридных микросхем, технологии производства интегральных микросхем. Подробно рассмотрены физикотехнические аспекты электронной технологии.
Учебное пособие также может использоваться студентами родственных специальностей для изучения схожих дисциплин