Борисенко В.Е., Воробьева А.И. Наноэлектроника. Часть 2. Нанотехнология

Учебное пособие. - Мн.: БГУИР, 2003. - 76 с.Учебное пособие составлено на основе курса лекций "Нанотехнология", читаемого студентам специальности "Микроэлектроника" дневной формы обучени. Во второй части рассмотрены основные известные и нетрадиционные методы изготовления наноразмерных структур и функциональных слоев на их основе.