Телеш Е.В., Соловьев Я.А. Технологические модули и устройства программно-управляемого оборудования для производства изделий электроники. Лабораторный практикум

Пособие. — Минск: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, 2019. — 75 с. — ISBN: 978-958-543-442-0.Включает лабораторные работы по изучению различных преобразователей для измерения давления в вакуумных системах, современного оборудования для быстрого термического отжига, технологических модулей и устройств для нанесения тонких пленок в вакууме и ионного травления, торцевого холловского ускорителя для модификации поверхности полимеров.
Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний студентов по учебной дисциплине «Программно-управляемое технологическое оборудование», получения практических навыков при работе с измерительным и исследовательским оборудованием.Содержание
Преобразователи для измерения давления в вакуумных системах
Установка быстрого термического отжига МИГ-2с
Технологический модуль на основе автономного ионного источника для травления металлических слоев
Технологические модули и устройства оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме
Торцевой холловский ускоритель