Воробьев Г.А., Мухачев В.А. Пробой тонких диэлектрических пленок

Брошюра. — Москва: Советское радио, 1977. — 72 с.Исследовано влияние технологических факторов на свойства тонкопленочных конденсаторов (ТПК) и выбран оптимальный технологический режим. Рассмотрены зависимости изменения пробивного напряжения и места пробоя от числа пробоев на одном ТПК при разной толщине диэлектрика, электрической прочности от толщины диэлектрика, времени воздействия и частоты напряжения от температуры в интервале 190-300°С при пробое на постоянном, переменном, импульсном напряжениях в вакууме, времени запаздывания разряда от величины перенапряжения на ТПК, температуры окружающей среды, от толщины диэлектрика. Оценено распределение электрического поля в ТПК с учетом наличия микроострий на электродах и отрицательного объемного заряда в диэлектрике и времени формирования канала пробоя. Развита качественная модель механизма формирования пробоя. Брошюра предназначена для широкого круга специалистов электронной и радиопромышленности, занимающихся вопросами создания тонкопленочных систем и вопросами пробоя диэлектриков, а также для студентов вузов соответствующих специальностей.