Балохонов Д.В. Технологические среды

Пособие. — Минск: Белорусский национальный технический университет, 2018. — 72 с. — ISBN: 978-985-583-049-9.Пособие содержит теоретические сведения и инструкции, необходимые для выполнения расчетно-практических работ по курсу «Технологические среды»; расчетно-практические работы, посвященные основным технологическим средам для производства интегральных микросхем и материалов для них; теоретические сведения о вакууме, способах его получения и оборудовании для этого; информацию о способах очистки воздуха при производстве полупроводниковых приборов.
Предназначено для студентов специальности 1-41 01 01 «Технология материалов и компонентов электронной техники».Основные газообразные технологические среды для полупроводникового производства, их основные характеристики и защита от их вредного влияния
Основные газообразные технологические среды
Опасность технологических сред. Классы опасности технологических сред
Защита от основных газообразных технологических сред и действия в случае их утечки
Метод расчета насадочного скруббера для очистки газообразных технологических сред от примесей
Испарительные источники газообразных технологических сред. Расчет дозатора барботажного типа
Основные конструкции испарительных источников технологических сред
Расчет дозатора барботажного типа
Вакуумные системы и их расчет
Вакуумные системы и их строение
Основные детали вакуумных систем
Практическая часть – метод расчета вакуумной системы
Современные системы фильтрации воздуха для чистых помещений
Аэрозольные загрязнители в чистых помещениях
Фильтрование воздуха в чистых помещениях. Типы фильтров для чистых помещений
Расчет концентрации аэрозолей в чистом помещении
Подбор фильтров для систем очистки воздуха в чистом помещении
Список рекомендуемых источников