Процессы жидкостного химического травления

Файл формата pdf
размером 1,73 МБ

Добавлен пользователем baltabayevmuhammadali 30.01.2019 13:30
Описание отредактировано 31.01.2019 04:14

Процессы жидкостного химического травления

Без автора. — Санкт-Петербург: Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ”, 2008. — 142 c.

Учебное пособие посвящено одному из важных разделов технологии микроэлектронных приборов, интегральных микросхем и приборов микросистемной техники – процессам жидкостного химического травления.