Камлюк В.С., Камлюк Д.В. Технологическое оборудование для микроэлектроники

Учебное пособие. — Минск: РИПО, 2014. — 392 с. — ISBN: 978-985-503-369-2.Представлено оборудование полупроводникового производства. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования.
Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.