Черных А.Г., Мигас Д.Б., Лешок А.А. Технология изготовления КМОП-транзисторов

Минск: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (БГУИР), 2018. — 71 с. — ISBN: 978-985-543-430-7.Рассмотрены конструктивно-технологические особенности изготовления КМОП-транзисторов для ИМС. Определены физические ограничения и ключевые технологические процессы КМОП-элементов с проектными нормами менее 90 нм.
Рассмотрены методы формирования КМОП-структур с high-k-диэлектриком и металлическим затвором, а также различные типы многозатворных МОП-транзисторов.