Удовиченко С.Ю. Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники

Тюмень: Тюменский государственный университет (ТюмГУ), 2016. — 228 с. — ISBN: 978-5-400-01349-2.Учебное пособие дает студентам представление о современном состоянии исследований и разработок в области создания оборудования для пучково-плазменных технологий и о возможностях применения этих технологий в микро- и наноэлектронике. Особое внимание уделено современному высокотехнологичному оборудованию – НТК «НаноФаб-100», приобретенному Тюменским государственным университетом в рамках реализации ФЦП «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008-2011 гг.».
Пособие имеет целью активизацию у студентов практических навыков по применению пучково-плазменных технологий в микро- и наноэлектронике в соответствии с требованиями ФГОС ВО к содержанию курсов «Физические основы микро- и наносистемной техники», «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий», «Вакуумная техника и технологии», «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем».
Предназначено для студентов направления 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».