Галеева Л.Х. Анализ микроскопических изображений объектов микроэлектроники в программном пакете Image Pro Plus

Учебно-методическое пособие. — Казань: КНИТУ-КАИ им. А.Н. Туполева, 2018. — 68 с. — ISBN: 978-5-7579-2304-8.В представленном учебно-методическом пособии одна из тем связана с основной задачей цифровой обработки изображений: измерение, подсчет и классификация выделенных объектов. В работе рассматриваются: подготовка изображений к анализу с помощью фильтров; автоматическая сегментация и сегментация по гистограмме; выбор измеряемых параметров объектов, подсчет и классификация.
Вторая тема посвящена методике исследования структуры пленок с помощью Фурье преобразования цифровых микроскопических изображений на основе модельных структур плотнейших (кубической и гексагональной) упаковок микросфер кремнезема, синтезированных золь-гель-методом. Кроме того, студентам предлагается исследование и случайных упаковок микросфер.
Разработано к дисциплинам «Микро- и нанотехнологии» магистерской программы направления 11.04.03 (211000.68) и «Конструирование и технология электронных средств» по магистерской программе «Информационные технологии проектирования электронно-вычислительных средств». Может быть использовано студентами при выполнении учебно-исследовательских, курсовых и дипломных работ.Введение.
Морфологический и количественный анализ тонких пленок.
Описание программного пакета.
Инструменты обработки изображений в базовой методике.
морфологического анализа тонких пленок.
Модели сегментации.
Модель цветового куба (Color Cube-Based Model).
Цветовой канал (Color Channel).
Пороговая сегментация.
Пространственная калибровка.
Измерение и подсчет.
Инструменты создания макроса.
Исследование структуры пленок кремнезема с помощью дискретного Фурье-преобразования.
Дискретное Фурье-преобразование.
Геометрия моделей строения монокристаллических пленок.
Работа с программным пакетом Image Pro Plus [5].
Геометрия модели аморфных материалов.
Фурье-анализ строения тонких пленок.
Фильтрация в частотной области.
Список литературы.