Борисова Т.А., Бароненкова Р.П. Способы получения и области применения поликристаллических слоев кремния

Москва: ЦНИИ экономики и информации цветной металлургии, 1984. — 37 с. — (Производство редких металлов и полупроводниковых материалов. Обзорная информация. Выпуск 1).В обзоре рассмотрены основные методы получения поликристаллических слоев кремния, способы введения примесей в слои и влияние примесей на кинетику процесса осаждения слоев из газовой фазы, а также на их электрические и структурные свойства.
Дано описание двух моделей - модели сегрегации примесей на границах зерен и модели ловушек с образованием потенциальных барьеров. С помощью этих моделей объясняются электрические свойства слоев и прослеживается зависимость их электрических свойств от структурных, в частности, от размера зерна. Разработана классификация способов управления свойствами поликристаллических слоев, которые широко применяются на практике с целью достижения заданных характеристик, необходимых для создания высокоэффективных полупроводниковых приборов.
Рассмотрены основные области применения поликристаллических слоев кремния и показана перспективность их использования как материала для изготовления различных элементов интегральных схем, а также для создания солнечных батарей с высоким (>10%) коэффициентом преобразования.Введение.

Области применения поликристаллических слоев кремния.

Способы получения поликристаллических слоев кремния.
Термическое разложение моносилана.
Водородное восстановление хлорсиланов.
Реакторы для газовой эпитаксии.
Другие методы получения поликристаллических слоев кремния.
Легирование поликристаллических слоев кремния.Свойства поликристаллических слоев кремния.
Электрические свойства поликристаллических слоев кремния.
Структурные свойства поликристаллических слоев кремния.
Способы управления свойствами поликристаллических слоев кремния.Выводы.
Список литературы.