Зеликман Г.А. Тонкие пленки силицидов тугоплавких металлов. Часть 1

Москва: ЦНИИ Электроника, 1986. — 53 с. — (Обзоры по электронной технике. Серия 2. Полупроводниковые приборы. Выпуск 1 (1178)).Свойства и методы образования пленок силицидов. Рассмотрены общие свойства силицидов тугоплавких металлов: удельное сопротивление, механическая стабильность и особенности термического окисления, определяющие возможность их применения в технологии. Рассмотрены разнообразные способы получения пленок силицидов: распыление силицидной мишени, одновременное магнетронное распыление компонентов силицидов, одновременное испарение кремния и металла, нанесение силицида из газовой фазы. Показана возможность применения других силицидов. Рассмотрены способы термообработки нанесенных компонентов силицидов, а также влияние ионной имплантации на образование силицидов. Проведено сравнение различных способов получения силицидов тугоплавких металлов. Для инженеров-технологов, разработчиков оборудования, разработчиков конструкций эпитаксиальных структур и интегральных схем, научных сотрудников, студентов и аспирантов.Введение.
Общие свойства силицидов.
Удельное сопротивление.
Механическая стабильность.
Окисление.
Методы образования пленок силицидов.
Металл на кремнии или поликремнии.
Одновременное нанесение компонентов силицида.
Распыление дисилицидной мишени.
Магнетронное сораспыление.
Соиспарение.
Нанесение силицида из газовой фазы.
Другие силициды.
Термообработка для образования силицида.
Образование силицидов при ионной имплантации.
Сравнение способов образования силицидов.
Выводы.
Список использованной литературы.